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靜電對(duì)潔凈車間有哪幾種危害？

發(fā)布時(shí)間：2023-12-13 08:11:04

靜電對(duì)潔凈車間有哪幾種危害？文章概要：對(duì)我們來(lái)說(shuō)，靜態(tài)可能是一個(gè)小問(wèn)題的意見(jiàn)，只是片刻的事情，但清潔車間的靜態(tài)是關(guān)于產(chǎn)品合格率。讓我們了解靜電對(duì)清潔車間的危害。1.靜電庫(kù)侖力在靜電庫(kù)侖力的作用下，清潔車間吸收的灰塵和污垢會(huì)增加元件的泄漏或短路，從而損壞性能，大大降低產(chǎn)量和可靠性。如粉塵粒徑>100微米，鋁絲寬約100微米，氧化膜厚度在

靜電對(duì)潔凈車間有哪幾種危害？

對(duì)我們來(lái)說(shuō)，靜態(tài)可能是一個(gè)小問(wèn)題的意見(jiàn)，只是片刻的事情，但清潔車間的靜態(tài)是關(guān)于產(chǎn)品合格率。讓我們了解靜電對(duì)清潔車間的危害。

1.靜電庫(kù)侖力

在靜電庫(kù)侖力的作用下，清潔車間吸收的灰塵和污垢會(huì)增加元件的泄漏或短路，從而損壞性能，大大降低產(chǎn)量和可靠性。如粉塵粒徑>100微米，鋁絲寬約100微米，氧化膜厚度在50微米，**容易廢棄的產(chǎn)品。現(xiàn)在線直徑較薄，氧化膜很薄，粒徑小的灰塵顆粒會(huì)損壞元件，這種情況發(fā)生在清洗車間腐蝕清洗，光刻，點(diǎn)焊和包裝等工序中。

2.靜電放電ESD

（1）元件的*緣氧化膜被破壞，引線在電線之間燃燒或熔化。如果機(jī)身帶有10KV（100pF）的靜電，觸摸設(shè)備腳時(shí)會(huì)發(fā)生ESD，清潔車間的瞬時(shí)脈沖放電電流峰值可以達(dá)到20A（10~100s），更不用說(shuō)高密度，細(xì)線直徑，薄的SiO2薄膜Lsi，Vlsi，一般是IC，MOS會(huì)受到損害。

（2）造成潔凈車間噪聲和電磁波干擾

ESD導(dǎo)致電磁波前后峰相對(duì)尖銳，信號(hào)強(qiáng)，相當(dāng)于電路中幾伏的能量，頻率跨越幾個(gè)MH2極有數(shù)百M(fèi)H2的強(qiáng)大噪聲，可能對(duì)元件造成損壞，設(shè)備和傳感器無(wú)法正常工作，甚至造成清潔車間設(shè)備崩潰。

（3）觸電

盡管在半導(dǎo)體，平板顯示器和光電子器件等潔凈室中已經(jīng)做了很多工作，但潔凈室中的靜電問(wèn)題仍然影響生產(chǎn)安全和產(chǎn)品產(chǎn)量，制造成本和效益，以及產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性。根據(jù)外國(guó)行業(yè)專家的估計(jì)，美國(guó)靜電造成的年度產(chǎn)品損失平均為8-33％。有人估計(jì)，美國(guó)靜電引起的電力行業(yè)每年損失價(jià)值10億美元。在20世紀(jì)80年代，對(duì)日本廢棄電子產(chǎn)品的分析占ESD的損失的1/3。中國(guó)的半導(dǎo)體，平板液晶顯示器，光電子等起步較晚，但靜電危害也時(shí)有發(fā)生，產(chǎn)量低。

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